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Study of recrystallization and activation processes in thin and highly doped Silicon-On-Insulator layers by nanosecond Laser Thermal Annealing
N Chery
1
M Zhang
1
Richard Monflier
2
G Seine
3
V Paillard
1
J Poumirol
1
Guilhem Larrieu
4
A Royet
5
S Kerdilès
5
P Acosta-Alba
5
M Perego
Caroline Bonafos
1
Fuccio Cristiano
4
1
CEMES-NeO - Nano-Optique et Nanomatériaux pour l'optique
CEMES - Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales
2
LAAS-I2C - Service Instrumentation Conception Caractérisation
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
4
LAAS-MPN - Équipe Matériaux et Procédés pour la Nanoélectronique
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
N Chery 1
Author
M Zhang 1
Author
Richard Monflier 2
Author IdHAL : richard-monflier
G Seine 3
Author
V Paillard 1
Author
J M Poumirol 1
Author
Guilhem Larrieu 4
Author IdHAL : glarrieu
a S Royet 5
Author
S Kerdilès 5
Author
P Acosta-Alba 5
Author
M Perego
Author
Caroline Bonafos 1
Author IdHAL : caroline-bonafos ORCID : https://orcid.org/0000-0001-5140-6690
Fuccio Cristiano 4
Author Employer institution : Équipe Matériaux et Procédés pour la Nanoélectronique IdHAL : fuccio-cristiano ORCID : https://orcid.org/0000-0003-1839-9972
1
CEMES-NeO - Nano-Optique et Nanomatériaux pour l'optique (CEMES 29 rue Jeanne Marvig, BP 94347, F-31055 Toulouse Cedex 4 - France)
- CEMES - Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales (29 Rue Jeanne Marvig - BP 94347 31055 TOULOUSE CEDEX 4
- France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8011 (France)
- ICT-FR 2599 - Institut de Chimie de Toulouse (118 Route de Narbonne 31062 Toulouse cédex 9 - France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UAR2599 / FR2599 (France)
- IRD - Institut de Recherche pour le Développement (Siège Le Sextant 44, bd de Dunkerque CS 90009 13572 Marseille cedex 02 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
2
LAAS-I2C - Service Instrumentation Conception Caractérisation (France)
- LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
3
CEMES - Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales (29 Rue Jeanne Marvig - BP 94347 31055 TOULOUSE CEDEX 4
- France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8011 (France)
- ICT-FR 2599 - Institut de Chimie de Toulouse (118 Route de Narbonne 31062 Toulouse cédex 9 - France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UAR2599 / FR2599 (France)
- IRD - Institut de Recherche pour le Développement (Siège Le Sextant 44, bd de Dunkerque CS 90009 13572 Marseille cedex 02 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
4
LAAS-MPN - Équipe Matériaux et Procédés pour la Nanoélectronique (France)
- LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
5
CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
Abstract : In this work, a thorough study of the phosphorus (P) heavy doping of thin Silicon-On-Insulator (SOI) layers by UV nanosecond Laser Thermal Annealing (LTA) is presented. The melting regimes and the regrowth processes as well as the redistribution and activation of P in
Document type :
Preprints, Working Papers, ...
Domain :
Complete list of metadata
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-03454821
Contributor : Caroline Bonafos Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Monday, November 29, 2021 - 1:38:38 PM
Last modification on : Thursday, April 21, 2022 - 3:20:57 AM
Contributor : Caroline Bonafos Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Monday, November 29, 2021 - 1:38:38 PM
Last modification on : Thursday, April 21, 2022 - 3:20:57 AM
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- HAL Id : hal-03454821, version 1
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Citation
N Chery, M Zhang, Richard Monflier, G Seine, V Paillard, et al.. Study of recrystallization and activation processes in thin and highly doped Silicon-On-Insulator layers by nanosecond Laser Thermal Annealing. 2021. ⟨hal-03454821v1⟩
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