Contrôle du pull-in et positionnement nanométrique d'un M/NEMS - SYSCO Accéder directement au contenu
Chapitre D'ouvrage Année : 2009

Contrôle du pull-in et positionnement nanométrique d'un M/NEMS

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00620413 , version 1 (07-09-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00620413 , version 1

Citer

Sylvain Blanvillain, Alina Voda, Gildas Besancon. Contrôle du pull-in et positionnement nanométrique d'un M/NEMS. P. Borne, F. Filip, M. Benrejeb, D. Popescu. Automatique Avancée et Informatique Appliquée, Editura Academiei Româna/Edition de l'Académie Roumaine, pp.67-73, 2009. ⟨hal-00620413⟩
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