Laser interference lithography for the collective fabrication of quartz-microcylinders - INRIA - Institut National de Recherche en Informatique et en Automatique Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Laser interference lithography for the collective fabrication of quartz-microcylinders

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique Biotechnologies

benoit CHARLOT  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02091429

Soumis le : vendredi 5 avril 2019-16:41:42

Dernière modification le : mercredi 22 novembre 2023-14:10:03

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02091429 , version 1 (05-04-2019)

Identifiants

Citer

Z. Santybayeva, C. de Marin, F. Pedaci, A. Meghit, R. Teissier, et al.. Laser interference lithography for the collective fabrication of quartz-microcylinders. 2016 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP), May 2016, Budapest, Hungary. pp.1-5, ⟨10.1109/DTIP.2016.7514860⟩. ⟨hal-02091429⟩

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