Study of the operating conditions for the implementation of a silicon coating on very dense powder by Fluidized Bed CVD

Etude des conditions opératoires permettant la mise en oeuvre d'un dépôt de silicium sur poudre dense par CVD en lit fluidisé

F. Vanni (1) , Brigitte Caussat (2) , C. Ablitzer (1) , M. Brothier (1)

1 CEA-DES (ex-DEN) - CEA-Direction des Energies (ex-Direction de l'Energie Nucléaire)
2 LGC - Laboratoire de Génie Chimique

Mots clés: lit fluidisé; silicium; poudre de forte densité; CVD; silane

Domaines: Physique Nucléaire Expérimentale [nucl-ex]; Physique Nucléaire Théorique [nucl-th]

F. Vanni, Brigitte Caussat, C. Ablitzer, M. Brothier. Etude des conditions opératoires permettant la mise en oeuvre d'un dépôt de silicium sur poudre dense par CVD en lit fluidisé. Récents Progrès en Génie des Procédés (Cédérom), 2015, 107. ⟨cea-02506811⟩