Determination of the d31 piezoelectric coefficient of PZT thin film using dedicated microelectromechanical systems - Université Toulouse III - Paul Sabatier - Toulouse INP Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Determination of the d31 piezoelectric coefficient of PZT thin film using dedicated microelectromechanical systems

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Cédric Ayela  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00399522

Soumis le : vendredi 26 juin 2009-16:08:02

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00399522 , version 1 (26-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00399522 , version 1

Citer

Cédric Ayela, Eric Cattan, Caroline Soyer, Christian Bergaud, Martine Pugnière, et al.. Determination of the d31 piezoelectric coefficient of PZT thin film using dedicated microelectromechanical systems. MRS fall meeting, Nov 2005, Boston, United States. ⟨hal-00399522⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

UNIV-TLSE2 CNRS UNIV-VALENCIENNES INSA-TOULOUSE LAAS IEMN UT1-CAPITOLE BS UNIV-MONTPELLIER UNIV-LILLE INSA-GROUPE TOULOUSE-INP UNIV-UT3 UT3-TOULOUSEINP IRIM
148 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More