Skip to Main content Skip to Navigation
Conference papers

Auto-alignement de microlentilles en polymère pour la mise en forme des faisceaux laser de VCSELs

Résumé : Dans ce résumé, nous présentons la réalisation de microlentilles en polymère déposées sur des piédestaux de résine (SU-8) obtenus par photolithographie. La technique mise en œuvre est basée sur l'utilisation de micro-leviers en silicium. Cette étude vise à intégrer des piédestaux et des microlentilles sur la surface de VCSELs afin de contrôler leur divergence. Les caractérisations des microlentilles en MEB (Microscopie Electronique à Balayage) et en profilomètrie optique ont permis d'évaluer l'influence des dimensions du piédestal sur la forme finale de la microlentille. Il a également été mis en évidence l'auto-alignement des microlentilles avec des piédestaux à géométrie circulaire.
Document type :
Conference papers
Complete list of metadata

https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00491484
Contributor : Christophe Levallois <>
Submitted on : Friday, June 11, 2010 - 5:57:03 PM
Last modification on : Friday, January 10, 2020 - 9:08:09 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-00491484, version 1

Citation

Christophe Levallois, Thierry Leichle, Véronique Bardinal, Thierry Camps, Jean-Baptiste Doucet, et al.. Auto-alignement de microlentilles en polymère pour la mise en forme des faisceaux laser de VCSELs. Horizons de l'optique 2007, Jul 2007, Grenoble, France. p. 1-2. ⟨hal-00491484⟩

Share

Metrics

Record views

111