Auto-alignement de microlentilles en polymère pour la mise en forme des faisceaux laser de VCSELs

Christophe Levallois (1) , Thierry Leichle (1) , Véronique Bardinal (1) , Thierry Camps (1) , Jean-Baptiste Doucet (1) , Emmanuelle Daran (1) , Corinne Vergnenegre (1)

1 LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes

Dans ce résumé, nous présentons la réalisation de microlentilles en polymère déposées sur des piédestaux de résine (SU-8) obtenus par photolithographie. La technique mise en œuvre est basée sur l'utilisation de micro-leviers en silicium. Cette étude vise à intégrer des piédestaux et des microlentilles sur la surface de VCSELs afin de contrôler leur divergence. Les caractérisations des microlentilles en MEB (Microscopie Electronique à Balayage) et en profilomètrie optique ont permis d'évaluer l'influence des dimensions du piédestal sur la forme finale de la microlentille. Il a également été mis en évidence l'auto-alignement des microlentilles avec des piédestaux à géométrie circulaire.

Domaines: Optique / photonique

Christophe Levallois, Thierry Leichle, Véronique Bardinal, Thierry Camps, Jean-Baptiste Doucet, et al.. Auto-alignement de microlentilles en polymère pour la mise en forme des faisceaux laser de VCSELs. Horizons de l'optique 2007, Jul 2007, Grenoble, France. p. 1-2. ⟨hal-00491484⟩