Development and characterization of microplasma arrays on Silicon

Remi Dussart (1) , Thierry Dufour (1) , Mukesh Kulsreshath (1) , Valentin Felix (1) , Laurent Schwaederlé (1) , Philippe Lefaucheux (1) , Thomas Tillocher (1) , N. Sadeghi (2, 3) , Leanne Pitchford (4) , V. Schulz-von Der Gathen (5) , Lawrence J. Overzet (6)

1 GREMI - Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés
2 LSP - Laboratoire de Spectrométrie Physique
3 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
4 LAPLACE - LAboratoire PLasma et Conversion d'Energie
5 Institute for Applied Plasma Physics
6 PAL - Plasma Application Laboratory

Domaines: Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

Remi Dussart, Thierry Dufour, Mukesh Kulsreshath, Valentin Felix, Laurent Schwaederlé, et al.. Development and characterization of microplasma arrays on Silicon. International Workshop on Physics of Microplasmas, May 2012, Bochum, Germany. ⟨hal-00707932⟩