APPROCHE TECHNOLOGIQUE DE RESONATEURS OPTIQUES 2D ET 3D SUR SUBSTRATS DE VERRE ET DE SILICIUM

Amel Ali Slimane (1) , Adrien Desmoulin (2) , Olivier Llopis (1) , Véronique Conédéra (2) , Arnaud Fernandez (1)

1 LAAS-MOST - Équipe Microondes et Opto-microondes pour Systèmes de Télécommunications
2 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique

Une étude portant sur la réalisation de résonateurs et de techniques de couplage de ces résonateurs à des guides d'onde sur substrat verre et silicium est présentée. Ces résonateurs sont de deux types différents : report de sphère de SiO2 sur substrat hôte ou réalisation de résonateurs bidimensionnels circulaires à l'aide des structures guidantes étudiées pour le couplage de la sphère. Les problématiques liées au choix des matériaux sont décrites, du point de vue de la technologie et de leurs propriétés optiques.

Mots clés: modes de galerie; optique sur silicium; Guides d'onde optique; résonateur optique

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]

Amel Ali Slimane, Adrien Desmoulin, Olivier Llopis, Véronique Conédéra, Arnaud Fernandez. APPROCHE TECHNOLOGIQUE DE RESONATEURS OPTIQUES 2D ET 3D SUR SUBSTRATS DE VERRE ET DE SILICIUM. Journées Nationales de l'Optique Guidée (JNOG), Jul 2013, Paris, France. 3p. ⟨hal-00849957⟩