Capteurs de gaz à base de nanofils verticaux et ordonnés de silicium

Brieux Durand 1, 2 Aurélie Lecestre 3 Laurent Mazenq 3 Philippe Menini 1 Guilhem Larrieu 2
1 LAAS-MICA - Équipe MICrosystèmes d'Analyse
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
2 LAAS-MPN - Équipe Matériaux et Procédés pour la Nanoélectronique
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
3 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
Résumé : L'objectif de cette étude consiste à développer une nouvelle génération de capteurs de gaz ultra sensibles basés sur la nanostructuration du silicium sous forme de nanofils(NFs) verticaux de manière contrôlée et reproductible par une approche « top-down ». Ces NFs sont contactés électriquement par un pont suspendu. Ainsi une large surface du NF est disponible, et peut réagir avec le gaz environnant. Cette approche permet de réaliser des réseaux de NFs définis par photolithographie optique pour contrôler parfaitement leur nombre, leur espacement et leur position et obtenir ainsi des dispositifs reproductibles. Les capteurs ont ensuite été caractérisés électriquement et sous différentes ambiances gazeuses.
Document type :
Conference papers
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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01216418
Contributor : Brieux Durand <>
Submitted on : Friday, October 16, 2015 - 11:28:44 AM
Last modification on : Saturday, October 26, 2019 - 1:32:19 AM
Long-term archiving on: Monday, January 18, 2016 - 6:01:07 AM

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JNRDM_2015_Brieux_DURAND.pdf
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  • HAL Id : hal-01216418, version 1

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Citation

Brieux Durand, Aurélie Lecestre, Laurent Mazenq, Philippe Menini, Guilhem Larrieu. Capteurs de gaz à base de nanofils verticaux et ordonnés de silicium. Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique (JNRDM2015), May 2015, Bordeaux, France. 4p. ⟨hal-01216418⟩

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