Ability of conventional DC magnetron sputtering to coat complex substrates

Anne-Lise Thomann (1) , Constantin Vahlas (2) , Aloui L. (2) , Eliane Amin-Chalhoub (1) , Amael Caillard (1) , Eric Millon (1) , Pascal Brault (1) , Mireille Gaillard (1) , Nadjib Semmar (1) , Chantal Boulmer-Leborgne (1)

1 GREMI - Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés
2 CIRIMAT - Centre interuniversitaire de recherche et d'ingenierie des matériaux

Domaines: Matériaux

Anne-Lise Thomann, Constantin Vahlas, Aloui L., Eliane Amin-Chalhoub, Amael Caillard, et al.. Ability of conventional DC magnetron sputtering to coat complex substrates. 13th International Conference on Plasma Surface Engineering PSE 2012, Sep 2012, Garmisch-Partenkirchen, Germany. ⟨hal-01288943⟩