Ultrasensitive Acoustic and Electromagnetic and optical transducers: Application for gas and bio-sensing

Hamida Hallil; Corinne Dejous; Dominique Rebière; Vincent Raimbault; Jean-Luc Lachaud

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Ultrasensitive Acoustic and Electromagnetic and optical transducers: Application for gas and bio-sensing

Hamida Hallil ¹ Corinne Dejous ¹ Dominique Rebière ¹ Vincent Raimbault ^{2, 1} Jean-Luc Lachaud ¹

1 IMS - Laboratoire de l'intégration, du matériau au système

2 LAAS-MICA - Équipe MICrosystèmes d'Analyse

LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes

Hamida Hallil ¹ AuthorId : 798060
Author

Corinne Dejous ¹ AuthorId : 1330725

Author IdHAL : dejous ORCID : https://orcid.org/0000-0002-9004-7966

Dominique Rebière ¹ AuthorId : 193690
Author

Vincent Raimbault ^{2, 1} AuthorId : 11493014

Author IdHAL : vincent-raimbault ORCID : https://orcid.org/0000-0003-1812-0409

Jean-Luc Lachaud ¹ AuthorId : 220754
Author

1 IMS - Laboratoire de l'intégration, du matériau au système (33405 TALENCE CEDEX - France) StructId : 24472

Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1 (351 cours de la Libération - 33405 Talence cedex - France) StructId : 92972
Institut Polytechnique de Bordeaux (146, rue Léo Saignat, 33076 Bordeaux - France) StructId : 301962
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5218 (France) StructId : 441569

2 LAAS-MICA - Équipe MICrosystèmes d'Analyse (France) StructId : 392533

LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France) StructId : 459
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France) StructId : 448187
  - Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France) StructId : 443875
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France) StructId : 116255
  - INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France) StructId : 301232
- UPS - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France) StructId : 217752
  - Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France) StructId : 443875
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France) StructId : 441569
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France) StructId : 81148
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France) StructId : 116256

Document type :

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Domain :

Engineering Sciences [physics] / Micro and nanotechnologies/Microelectronics

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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01393041
Contributor : Corinne Dejous <>
Submitted on : Saturday, November 5, 2016 - 11:19:56 PM
Last modification on : Saturday, October 26, 2019 - 1:32:14 AM

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HAL Id : hal-01393041, version 1

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Hamida Hallil, Corinne Dejous, Dominique Rebière, Vincent Raimbault, Jean-Luc Lachaud. Ultrasensitive Acoustic and Electromagnetic and optical transducers: Application for gas and bio-sensing. 2015. ⟨hal-01393041⟩

Ultrasensitive Acoustic and Electromagnetic and optical transducers: Application for gas and bio-sensing

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