Vincent Ventalon 1
Author
Fadhila Sekli-Belaidi 1
Author IdHAL : fadhila-sekli-belaidi
R. Izquierdo 2
Author
P. Juneau 2
Author
Aliki Tsopela 1
Author
Jérôme Launay 1
Author
Véronique Bardinal 1
Author Employer institution : Équipe MICrosystèmes d'Analyse IdHAL : veronique-bardinal ORCID : https://orcid.org/0000-0001-9242-4457
Pierre Temple-Boyer 1
Author Employer institution : Équipe MICrosystèmes d'Analyse IdHAL : pierre-temple-boyer
Ludovic Salvagnac 3
Author Employer institution : Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique IdHAL : ludovic-salvagnac
Isabelle Séguy 1
Author IdHAL : isabelle-seguy
Eléna Bedel-Pereira 4
Author Employer institution : Équipe Matériaux et Procédés pour la Nanoélectronique IdHAL : bedel-pereira-elena