Local tetragonality of epitaxial BaTiO3 thin films on Si for ferroelectric applications

Sylvie Schamm-Chardon (1, 2) , Thibaud Denneulin (1) , Martin Hÿtch (1) , Lucie Mazet (3) , Romain Bachelet (3) , Guillaume Saint-Girons (3) , Catherine Dubourdieu (4)

1 CEMES - Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales
2 CEMES-MEM - Matériaux et dispositifs pour l'Electronique et le Magnétisme
3 INL - H&N - INL - Hétéroepitaxie et Nanostructures
4 INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon

no abstract

Domaines: Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]; Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Sylvie Schamm-Chardon, Thibaud Denneulin, Martin Hÿtch, Lucie Mazet, Romain Bachelet, et al.. Local tetragonality of epitaxial BaTiO3 thin films on Si for ferroelectric applications. IMC2014 - 18th International Microscopy congress, Sep 2014, Prague, Czech Republic. ⟨hal-01489876⟩