Notice d'installation et d'utilisation du four de degazage MBE32 sous CRYSTALXE

Quentin Gravelier (1) , Alexandre Arnoult (1) , Guy Lacoste (1) , Patrick Marcoul (2) , Vincent Brossa (2) , Xavier Dollat (2)

1 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
2 LAAS-I2C - Service Instrumentation Conception Caractérisation

L’évolution du matériel et des techniques au sein du laboratoire du LAAS-CNRS de Toulouse a permis la semi-automatisation du dégazage des substrats des réacteurs MBE 32 et MBE2300. Le document qui suit vise à constituer de la manière la plus exhaustive possible, une trace de l’ensemble des informations liées à l’automatisation du dégazage des substrats et à expliquer son utilisation sous le logiciel CRYSTAL XE.

Domaines: Agrégats Moléculaires et Atomiques [physics.atm-clus]; Optique / photonique; Instrumentations et Détecteurs [physics.ins-det]

Quentin Gravelier, Alexandre Arnoult, Guy Lacoste, Patrick Marcoul, Vincent Brossa, et al.. Notice d'installation et d'utilisation du four de degazage MBE32 sous CRYSTALXE. [Rapport de recherche] Rapport LAAS n° 17209, laas-cnrs. 2017. ⟨hal-01542420v1⟩