Notice Technique : Procédure de sortie de molybloc de la chambre d'introduction réacteurs MBE 32 et MBE 2300

Quentin Gravelier (1) , Alexandre Arnoult (1) , Guy Lacoste (1) , Hugues Granier (1)

1 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique

Dans la notice qui suit, nous allons présenter de manière détaillé la procédure à suivre afin de sortir un molybloc de la chambre d’introduction des réacteurs MBE32 et MBE2300 du LAAS-CNRS. Ce document sert d’appuis au personnel formateur pour la formation à l’utilisation autonomes des réacteurs.

Domaines: Optique / photonique; Agrégats Moléculaires et Atomiques [physics.atm-clus]; Instrumentations et Détecteurs [physics.ins-det]

Quentin Gravelier, Alexandre Arnoult, Guy Lacoste, Hugues Granier. Notice Technique : Procédure de sortie de molybloc de la chambre d'introduction réacteurs MBE 32 et MBE 2300. [Rapport Technique] Rapport LAAS n° 17207, LAAS-CNRS. 2017. ⟨hal-01542655v2⟩