Notice technique : Spectrométrie des électrons Auger

Quentin Gravelier (1) , Alexandre Arnoult (1) , Guy Lacoste (1) , Fabien Mesnilgrente (1) , Léa Astie (1)

1 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique

La spectroscopie des électrons Auger (AES : « Auger electron spectroscopy ») induite par les électrons, est une technique d’analyse des surfaces qui permet l’identification des éléments à la surface des solides (à l’exception de H et He) qui constituent les toutes premières couches atomiques (quelques nanomètres). Son principe repose sur le principe de l’effet Auger, en l’analysant les énergies cinétiques, caractéristiques des éléments dont ils sont issus, des électrons en surface. C’est énergies sont induites par un faisceau d’électrons d’incidences normal, focalisé sur la surface du substrat, de quelques kiloélectronvolts, dans une enceinte sous ultravide, équipé d’un analyseur d’électrons. Cette notice technique a pour but de présenter le spectromètre du LAAS-CNRS aux personnes souhaitant l’utiliser et sert d’appuis au personnel formateur. Un exemplaire de ce formulaire restera à disposition des utilisateurs à proximité de l’équipement.

Domaines: Instrumentations et Détecteurs [physics.ins-det]; Optique / photonique; Agrégats Moléculaires et Atomiques [physics.atm-clus]

Quentin Gravelier, Alexandre Arnoult, Guy Lacoste, Fabien Mesnilgrente, Léa Astie. Notice technique : Spectrométrie des électrons Auger. [Rapport Technique] Rapport LAAS n° 17208, LAAS-CNRS. 2017. ⟨hal-01542695v1⟩