Benattou Sadani 1
Author
Thierry Camps 1
Author Employer institution : Équipe Nano Ingénierie et Intégration des Systèmes
Benjamin Boisnard 2
Author
Jean-Baptiste Doucet 3
Author Employer institution : Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
Véronique Bardinal 1
Author Employer institution : Équipe MICrosystèmes d'Analyse IdHAL : veronique-bardinal
Christophe Levallois 4
Author IdHAL : christophe-levallois IdRef : https://www.idref.fr/120180545
Cyril Paranthoen 4
Author IdHAL : cyril-paranthoen
Sophie Bouchoule 5
Author
Laurent Dupont 6
Author IdHAL : laurent-dupont29
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