Integration of tunable liquid crystal microcells on 1.55μm photodetector arrays using nanoimprint technology

Benattou Sadani; Thierry Camps; Benjamin Boisnard; Jean-Baptiste Doucet; Véronique Bardinal; Christophe Levallois; Cyril Paranthoen; Sophie Bouchoule; Laurent Dupont

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Integration of tunable liquid crystal microcells on 1.55μm photodetector arrays using nanoimprint technology

Benattou Sadani ¹ Thierry Camps ¹ Benjamin Boisnard ² Jean-Baptiste Doucet ³ Véronique Bardinal ¹ Christophe Levallois ⁴ Cyril Paranthoen ⁴ Sophie Bouchoule ⁵ Laurent Dupont ⁶

1 LAAS-MICA - Équipe MICrosystèmes d'Analyse

LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes

2 LAAS-MILE - Équipe Micro-Nanofluidique pour les sciences de la vie et de l’environnement

LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes

3 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique

LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes

4 Institut FOTON - Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON

5 C2N - Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies [Marcoussis]

6 IMT Atlantique - OPT - Département Optique

Benattou Sadani ¹ AuthorId : 1629853

Author

Thierry Camps ¹ AuthorId : 495280

Author Employer institution : Équipe Nano Ingénierie et Intégration des Systèmes

Benjamin Boisnard ² AuthorId : 1629854
Author

Jean-Baptiste Doucet ³ AuthorId : 495282

Author Employer institution : Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique

Véronique Bardinal ¹ AuthorId : 181494

Author Employer institution : Équipe MICrosystèmes d'Analyse IdHAL : veronique-bardinal

Christophe Levallois ⁴ AuthorId : 492492

Author IdHAL : christophe-levallois IdRef : https://www.idref.fr/120180545

Cyril Paranthoen ⁴ AuthorId : 579727

Author IdHAL : cyril-paranthoen

Sophie Bouchoule ⁵ AuthorId : 187937
Author

Laurent Dupont ⁶ AuthorId : 11318167

Author IdHAL : laurent-dupont29

1 LAAS-MICA - Équipe MICrosystèmes d'Analyse (France) StructId : 392533

LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France) StructId : 459
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France) StructId : 448187
  - Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France) StructId : 443875
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France) StructId : 116255
  - INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France) StructId : 301232
- UPS - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France) StructId : 217752
  - Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France) StructId : 443875
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France) StructId : 441569
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France) StructId : 81148
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France) StructId : 116256

2 LAAS-MILE - Équipe Micro-Nanofluidique pour les sciences de la vie et de l’environnement (France) StructId : 458087

LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France) StructId : 459
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France) StructId : 448187
  - Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France) StructId : 443875
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France) StructId : 116255
  - INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France) StructId : 301232
- UPS - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France) StructId : 217752
  - Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France) StructId : 443875
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France) StructId : 441569
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France) StructId : 81148
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France) StructId : 116256

3 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique (France) StructId : 389044

LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France) StructId : 459
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France) StructId : 448187
  - Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France) StructId : 443875
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France) StructId : 116255
  - INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France) StructId : 301232
- UPS - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France) StructId : 217752
  - Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France) StructId : 443875
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France) StructId : 441569
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France) StructId : 81148
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France) StructId : 116256

4 Institut FOTON - Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON (ENSSAT 6, rue de Kerampont CS 80518 22305 LANNION Cedex - France) StructId : 491814

UR1 - Université de Rennes 1 (2 rue du Thabor - CS 46510 - 35065 Rennes cedex - France) StructId : 105160
- UNIV-RENNES - Université de Rennes (France) StructId : 528860
INSA Rennes - Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (20, avenue des Buttes de Coësmes - CS 70839 - 35708 Rennes cedex 7 - France) StructId : 117606
- INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France) StructId : 301232
- UNIV-RENNES - Université de Rennes (France) StructId : 528860
ENSSAT - École Nationale Supérieure des Sciences Appliquées et de Technologie (6 rue de Kerampont - BP 80518 - 22305 Lannion Cedex - France) StructId : 300376
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6082 (France) StructId : 441569
UBL - Université Bretagne Loire (Cité Internationale, 1 place Paul Ricoeur - CS 54417 35044 RENNES CEDEX - France) StructId : 469973
IMT Atlantique - IMT Atlantique Bretagne-Pays de la Loire (Campus Brest : Technopôle Brest-Iroise CS 8381829238 BREST Cedex 3 - Campus Nantes : 4, rue Alfred Kastler- La chantrerie 44300 NANTES - Campus Rennes : 2 Rue de la Châtaigneraie, 35510 CESSON SEVIGNE - France) StructId : 481355

5 C2N - Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies [Marcoussis] (Site de DATA4 Route de Nozay 91460 Marcoussis - France) StructId : 461642

UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France) StructId : 92966
UPD7 - Université Paris Diderot - Paris 7 (5 rue Thomas-Mann - 75205 Paris cedex 13 - France) StructId : 300301
Université Paris-Saclay (Espace Technologique, Bat. Discovery - RD 128 - 2e ét., 91190 Saint-Aubin - France) StructId : 419361
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR9001 (France) StructId : 441569

6 IMT Atlantique - OPT - Département Optique (IMT Atlantique - Campus de Brest :-Technopôle Brest-Iroise CS 8381829238 BREST Cedex 3 - France) StructId : 490130

IMT Atlantique - IMT Atlantique Bretagne-Pays de la Loire (Campus Brest : Technopôle Brest-Iroise CS 8381829238 BREST Cedex 3 - Campus Nantes : 4, rue Alfred Kastler- La chantrerie 44300 NANTES - Campus Rennes : 2 Rue de la Châtaigneraie, 35510 CESSON SEVIGNE - France) StructId : 481355

Abstract : Compact wavelength-tunable photonic devices are key elements for the development of next-generation optical communication systems and miniaturized optical sensors.

Keywords : photonic

Document type :

Conference papers

Domain :

Engineering Sciences [physics] / Optics / Photonic

Complete list of metadatas

https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01600644
Contributor : Bibliothèque Télécom Bretagne <>
Submitted on : Monday, October 2, 2017 - 5:15:11 PM
Last modification on : Saturday, October 26, 2019 - 1:30:13 AM

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HAL Id : hal-01600644, version 1

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Benattou Sadani, Thierry Camps, Benjamin Boisnard, Jean-Baptiste Doucet, Véronique Bardinal, et al.. Integration of tunable liquid crystal microcells on 1.55μm photodetector arrays using nanoimprint technology. 43rd International Conference on Micro- and Nano-engineering (MNE 2017), Sep 2017, Braga, Portugal. ⟨hal-01600644⟩

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