Benoit Torbiero 1
Author
Marie Laure L Pourciel-Gouzy 1
Author
Iryna Humenyuk 1
Author
Jean-Baptiste Doucet 2
Author Employer institution : Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
Augustin Martinez 1
Author
Pierre Temple-Boyer 1
Author Employer institution : Équipe MICrosystèmes d'Analyse IdHAL : pierre-temple-boyer