Miguel Diez 1
Author
Simon Joly 1
Author IdHAL : simonjoly
Vincent Raimbault 2
Author IdHAL : vincent-raimbault ORCID : https://orcid.org/0000-0003-1812-0409
Jean-Baptiste Doucet 3
Author Employer institution : Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
Oyhenart Laurent 1
Author
Laurent Bechou 1
Author
Corinne Dejous 1
Author IdHAL : dejous ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/D-6083-2019 ORCID : https://orcid.org/0000-0002-9004-7966