Valentina Castagnola 1
Author
Emeline Descamps 2
Author Employer institution : Équipe Matériaux et Procédés pour la Nanoélectronique IdHAL : emeline-descamps
Aurélie Lecestre 3
Author Employer institution : Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
Lionel Dahan 4
Author
Jessica Remaud 4
Author
L.G. Nowak 5
Author
Christian Bergaud 1
Author IdHAL : christian-bergaud ORCID : https://orcid.org/0000-0003-0093-9600
LAAS | CNRS | CRCA | INSA-TOULOUSE | LAAS-MICRO-NANO-BIO-TECHNOLOGIES | LAAS-MEMS | LAAS-TEAM | LAAS-MICA | UNIV-TLSE2 | INSA-GROUPE | UNIV-TLSE3 | UT1-CAPITOLE