Un bilan des activités 2017 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS

Hugues Granier (1) , Alexandre Arnoult (1) , David Bourrier (1) , Laurent Bouscayrol (1) , Pierre-François Calmon (1) , Franck Carcenac (1) , Samuel Charlot (1) , David Colin (1) , Véronique Conédéra (1) , Rémi Courson (1) , Emmanuelle Daran (1) , Monique Dilhan (1) , Thierry Do Conto (1) , Jean-Baptiste Doucet (1) , Pascal Dubreuil (1) , Quentin Gravelier (1) , Éric Imbernon (1) , Adrian Laborde (1) , Guy Lacoste (1) , Nathalie Lauber (1) , Alexandre Lauvergne (1) , Aurélie Lecestre (1) , Guillaume Libaude (1) , Vinciane Luque (1) , Antoine Maiorano (1) , Jean-Christophe Marrot (1) , Laurent Mazenq (1) , Fabien Mesnilgrente (1) , Benjamin Reig (1) , Bernard Rousset (1) , Ludovic Salvagnac (1)

1 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique

La plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS fait partie du réseau Renatech. Elle offre aux domaines sensibles aux contaminations environnementales une concentration particulaire maîtrisée, une régulation de la température, de l'humidité, et de la lumière pour certaines opérations sensibles aux rayonnements ultraviolets au sein de la salle de 1600 m² en classes 100 et 10 000. Les équipements permettent l’élaboration, la mise en forme, le traitement de matériaux pour le prototypage de composants microélectroniques, optoélectroniques, micro et nano systèmes. La gestion et le développement de l’infrastructure, des équipements et procédés ; le soutien aux projets de recherche sont assurés par le service TEAM. Ces moyens humains et technologiques assurent le soutien des actions de recherche internes au LAAS, mais aussi l'accueil de demandes externes dans le cadre du réseau Renatech. Annuellement l’activité du service est examinée par une commission (ComTEAM), présidée par le Directeur du laboratoire. Ce document réalisé annuellement fait le bilan des activités 2017 et se projette sur des actions à conduire en 2018 dans les différentes zones gérées par le service TEAM. .

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, et al.. Un bilan des activités 2017 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 18107. 2018. ⟨hal-01767583⟩