Porous silicon membranes for gas-sensor applications

T. Taliercio (1) , M. Dilhan , E. Massone (1) , A. Foucaran (2) , Anne Marie Gué (3) , T. Bretagnon (1) , B. Fraisse (4) , L. Montes (1)

1 GES - Groupe d'étude des semiconducteurs
2 CEM2 - Centre d'Electronique et de Micro-optoélectronique de Montpellier
3 LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
4 LAMMI - Laboratoire des Agrégats Moléculaires et Matériaux Inorganiques

Domaines: Electronique

T. Taliercio, M. Dilhan, E. Massone, A. Foucaran, Anne Marie Gué, et al.. Porous silicon membranes for gas-sensor applications. Sensors and Actuators A: Physical , 1995, 46 (1-3), pp.43 - 46. ⟨10.1016/0924-4247(94)00858-F⟩. ⟨hal-01788492⟩