Jean-Baptiste Doucet 3
Author Employer institution : Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
Emmanuelle Daran 3
Author
Cyril Paranthoen 4
Author Employer institution : Institut National des Sciences Appliquées - Rennes IdHAL : cyril-paranthoen
Christophe Levallois 4
Author IdHAL : christophe-levallois IdRef : https://www.idref.fr/120180545
Laurent Dupont 5, 6
Author IdHAL : laurent-dupont29 ORCID : https://orcid.org/0000-0003-1355-7871
Sophie Bouchoule 2
Author Employer institution : Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies [Marcoussis]
Véronique Bardinal 1
Correspondent author Employer institution : Équipe MICrosystèmes d'Analyse IdHAL : veronique-bardinal ORCID : https://orcid.org/0000-0001-9242-4457
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