Protocole d'arrêt général de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS

Hugues Granier (1) , Alexandre Arnoult (1) , David Bourrier (1) , Laurent Bouscayrol (1) , Pierre-François Calmon (1) , Franck Carcenac (1) , Samuel Charlot (1) , David Colin (1) , Véronique Conédéra (1) , Emmanuelle Daran (1) , Monique Dilhan (1) , Thierry Do Conto (1) , Jean-Baptiste Doucet (1) , Pascal Dubreuil (1) , Éric Imbernon (1) , Adrian Laborde (1) , Guy Lacoste (1) , Nathalie Lauber (1) , Aurélie Lecestre (1) , Vinciane Luque (1) , Antoine Maiorano (1) , Jean-Christophe Marrot (1) , Laurent Mazenq (1) , Fabien Mesnilgrente (1) , Benjamin Reig (1) , Bernard Rousset (1) , Ludovic Salvagnac (1)

1 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, et al.. Protocole d'arrêt général de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 14267. 2014. ⟨hal-01867458⟩