Loïc Assaud 1
Author
Hugues Vergnes 1
Author
Ludovic Salvagnac 2
Author Employer institution : Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique IdHAL : ludovic-salvagnac
Véronique Conédéra 2
Author IdHAL : veronique-conedera
L. Noé 3
Author
Pierre Temple-Boyer 4
Author Employer institution : Équipe MICrosystèmes d'Analyse IdHAL : pierre-temple-boyer
Marc Monthioux 3
Author IdHAL : marc-monthioux ORCID : https://orcid.org/0000-0002-7989-9746
Brigitte Caussat 1
Author
LAAS | CNRS | LAAS-TEAM | CEMES | INSA-TOULOUSE | LAAS-MICA | LAAS-MICRO-NANO-BIO-TECHNOLOGIES | INSA-GROUPE | M3 | UNIV-TLSE3 | UT1-CAPITOLE | UNIV-TLSE2 | INC-CNRS | LGC