DF-1000 series : une gamme de film sec photosensible pour les MEMS, BioMEMS...

Autre Rapport, Séminaire, Workshop Année : 2015

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Rémi Courson

Micro et nanotechnologies/Microélectronique Matériaux Polymères

Fichier principal

DF-1000 series_ une gamme de film sec photosensible pour les MEMS BioMEMS.pdf (1.1 Mo)

Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

https://laas.hal.science/hal-01875348

Soumis le : lundi 17 septembre 2018-11:35:58

Dernière modification le : lundi 20 novembre 2023-11:44:22

Archivage à long terme le : mardi 18 décembre 2018-12:42:30

hal-01875348 , version 1 (17-09-2018)

Rémi Courson. DF-1000 series : une gamme de film sec photosensible pour les MEMS, BioMEMS.... Rapport LAAS n° 15197. 2015. ⟨hal-01875348⟩

UNIV-TLSE2 CNRS INSA-TOULOUSE LAAS UT1-CAPITOLE LAAS-TEAM INSA-GROUPE TOULOUSE-INP UNIV-UT3 UT3-TOULOUSEINP

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