Silicon-on-insulator and SiGe waveguide photodetectors with Ge/Si self-assembled islands

M. El Kurdi (1) , P. Boucaud (2) , S. Sauvage (3) , G. Fishman (2) , O. Kermarrec (4) , Y. Campidelli (4) , D. Bensahel (4) , G. Saint-Girons (5) , G. Patriarche (1) , I. Sagnes (1)

1 LPN - Laboratoire de photonique et de nanostructures
2 IEF - Institut d'électronique fondamentale
3 LEFE - Laboratoire Ecologie Fonctionnelle et Environnement
4 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
5 INL - H&N - INL - Hétéroepitaxie et Nanostructures

Domaines: Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

M. El Kurdi, P. Boucaud, S. Sauvage, G. Fishman, O. Kermarrec, et al.. Silicon-on-insulator and SiGe waveguide photodetectors with Ge/Si self-assembled islands. Physica E: Low-dimensional Systems and Nanostructures, 2003, 16 (3-4), pp.523-527. ⟨hal-01939875⟩