Nanoimprint lithography as a new tool for cavity-resonator-integrated guided-mode resonance fabrication - Université Toulouse III - Paul Sabatier - Toulouse INP Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Nanoimprint lithography as a new tool for cavity-resonator-integrated guided-mode resonance fabrication

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique Electromagnétisme Optique / photonique

olivier gauthier-lafaye  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://laas.hal.science/hal-01943218

Soumis le : lundi 3 décembre 2018-16:30:55

Dernière modification le : mercredi 13 décembre 2023-18:06:54

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01943218 , version 1 (03-12-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01943218 , version 1

Citer

Sylvain Augé, Sylvain Pelloquin, Amandine Lestras, Jean-Baptiste Doucet, Emmanuelle Daran, et al.. Nanoimprint lithography as a new tool for cavity-resonator-integrated guided-mode resonance fabrication. International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2016), Sep 2016, Vienne, Austria. ⟨hal-01943218⟩

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