Elaboration de couches minces de Silicium sur isolant (SOI) par le procédé Smart-Cut ^\textrmTM

Chérif Rouahbi (1) , T. Besombes (1) , Reasmey Phary Tan (1) , Fabien Guérin (1) , C. Capello (1) , F. Gessinn (1) , Gérard Benassayag (2) , Alain Claverie (2) , Xavier Hebras (2) , Marc Respaud (3)

1 AIME - Atelier Interuniversitaire de Micro-Nano Electronique
2 CEMES - Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales
3 LPCNO - Laboratoire de physique et chimie des nano-objets

Domaines: Chimie

Chérif Rouahbi, T. Besombes, Reasmey Phary Tan, Fabien Guérin, C. Capello, et al.. Elaboration de couches minces de Silicium sur isolant (SOI) par le procédé Smart-Cut ^\textrmTM. Journal sur l'enseignement des sciences et technologies de l'information et des systèmes, 2017, 16, pp.1011. ⟨hal-01996904⟩