E. Saint-Etienne
Author
Patrick Pons 1
Author IdHAL : pons-patrick ORCID : https://orcid.org/0000-0002-7989-3272
G. Blasquez 1
Author
Pierre Temple-Boyer 1
Author Employer institution : Équipe MICrosystèmes d'Analyse IdHAL : pierre-temple-boyer
Véronique Conédéra 2
Author IdHAL : veronique-conedera
Monique Dilhan 2
Author IdHAL : monique-dilhan
X. Chauffleur 1
Author
Philippe Menini 3
Author Employer institution : Équipe MICrosystèmes d'Analyse IdHAL : philippe-menini ORCID : https://orcid.org/0000-0002-7532-9148
R. Plana 1
Author
T. Parra
Author
B. Guillon
Author Employer institution : École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen
J.C. Lalaurie
Author