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Journal articles
A dedicated micromachining technology for high-aspect-ratio millimetre-wave circuits
E. Saint-Etienne
Patrick Pons
1
G. Blasquez
1
Pierre Temple-Boyer
1
Véronique Conédéra
2
Monique Dilhan
2
X. Chauffleur
1
Philippe Menini
3
R. Plana
1
T. Parra
B. Guillon
J.C. Lalaurie
2
LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
3
LAAS-MICA - Équipe MICrosystèmes d'Analyse
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
E. Saint-Etienne
Author
Patrick Pons 1
Author IdHAL : pons-patrick ORCID : https://orcid.org/0000-0002-7989-3272
G. Blasquez 1
Author
Pierre Temple-Boyer 1
Author Employer institution : Équipe MICrosystèmes d'Analyse IdHAL : pierre-temple-boyer
Véronique Conédéra 2
Author IdHAL : veronique-conedera
Monique Dilhan 2
Author IdHAL : monique-dilhan
X. Chauffleur 1
Author
Philippe Menini 3
Author Employer institution : Équipe MICrosystèmes d'Analyse IdHAL : philippe-menini ORCID : https://orcid.org/0000-0002-7532-9148
R. Plana 1
Author
T. Parra
Author
B. Guillon
Author Employer institution : École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen
J.C. Lalaurie
Author
1
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
2
LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique (France)
- LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
3
LAAS-MICA - Équipe MICrosystèmes d'Analyse (France)
- LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
Abstract : This paper presents a new technological process to implement efficient millimetre-wave passive circuits on a silicon substrate. This process associates a thick positive photoresist acting as a mould for the realization of thick conductors (several microns) with an ultra-thin dielectric membrane using only two layers (SiO2/Si2N3.8) in order to reduce both dielectric and ohmic losses in the coplanar millimetre-wave circuits. Coplanar transmission lines and a band-pass filter in the 30 GHz range, featuring respectively transmission losses lower than 0.2 and 1 dB, illustrate some potentialities of this process.
Document type :
Journal articles
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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02045991
Contributor : Philippe Menini <>
Submitted on : Friday, February 22, 2019 - 2:25:56 PM
Last modification on : Friday, January 10, 2020 - 9:10:15 PM
Contributor : Philippe Menini <>
Submitted on : Friday, February 22, 2019 - 2:25:56 PM
Last modification on : Friday, January 10, 2020 - 9:10:15 PM
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Identifiers
- HAL Id : hal-02045991, version 1
- DOI : 10.1016/S0924-4247(98)00073-9
Collections
Citation
E. Saint-Etienne, Patrick Pons, G. Blasquez, Pierre Temple-Boyer, Véronique Conédéra, et al.. A dedicated micromachining technology for high-aspect-ratio millimetre-wave circuits. Sensors and Actuators A: Physical , Elsevier, 1998, 68 (1-3), pp.435-441. ⟨10.1016/S0924-4247(98)00073-9⟩. ⟨hal-02045991⟩
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