Ferroelectric Capacitors with "Quasi-Amorphous" BaTiO3 Integrated on Silicon

Lucie Mazet (1) , M.M. Frank (2) , Sylvie Schamm-Chardon (3) , E.A. Cartier (2) , H. Miyazoe (2) , J. Bruley (4) , S.M. Yang (5) , S.V. Kalinin (5) , Vijaykrishnan Narayanan (2) , Catherine Dubourdieu (6)

1 INL - H&N - INL - Hétéroepitaxie et Nanostructures
2 IBM T.J. Watson Research Center
3 CEMES-MEM - Matériaux et dispositifs pour l'Electronique et le Magnétisme
4 IBM Watson Research Center, Yorktown Heights, New York
5 CNMS - Center for Nanophase Materials Sciences [Oak Ridge]
6 HZB - Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH = Helmholtz Centre Berlin for Materials and Energy = Centre Helmholtz de Berlin pour les matériaux et l'énergie

Domaines: Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]; Physique [physics]

Lucie Mazet, M.M. Frank, Sylvie Schamm-Chardon, E.A. Cartier, H. Miyazoe, et al.. Ferroelectric Capacitors with "Quasi-Amorphous" BaTiO3 Integrated on Silicon. MRS Spring 2017,, Apr 2017, Phœnix, United States. ⟨hal-02081556⟩