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Conference papers
Transient response of miniaturized piezoresistive sensors for side-on pressure shockwave
J Veyrunes
1
Jérôme Riondet
2
André Ferrand
1
M Lavayssière
3
Alexandre Lefrancois
3
Jerôme Luc
3
Hervé Aubert
2
Patrick Pons
2
2
LAAS-MINC - Équipe MIcro et Nanosystèmes pour les Communications sans fil
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
J Veyrunes 1
Author
Jérôme Riondet 2
Author
André Ferrand 1
Author IdHAL : andre-ferrand ORCID : https://orcid.org/0000-0003-1379-7533
M Lavayssière 3
Author
Alexandre Lefrancois 3
Author
Jerôme Luc 3
Author
Hervé Aubert 2
Author
Patrick Pons 2
Author IdHAL : pons-patrick ORCID : https://orcid.org/0000-0002-7989-3272
1
ICA - Institut Clément Ader (ESPACE CLEMENT ADER - Toulouse Montaudran Aerospace
3 rue Caroline Aigle
31400 Toulouse CEDEX 04
- France)
- ISAE-SUPAERO - Institut Supérieur de l'Aéronautique et de l'Espace : EA814 (ISAE - 10 av. Edouard Belin - BP 54032 - 31055 TOULOUSE Cedex 4 - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5312 (France)
- IMT Mines Albi - IMT École nationale supérieure des Mines d'Albi-Carmaux : EA814 (Campus Jarlard - Route de Teillet
81013 ALBI Cedex 09 - France)
- IMT - Institut Mines-Télécom [Paris] (37-39 Rue Dareau, 75014 Paris - France)
2
LAAS-MINC - Équipe MIcro et Nanosystèmes pour les Communications sans fil (France)
- LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
3
DAM/GRAMAT - GRAMAT (Route de Reilhac 46500 Gramat - France)
- DAM - Direction des Applications Militaires : DAM/GRAMAT (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DAM (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
Abstract : Transient response of a miniaturized silicon piezoresistive sensor is simulated here for the first time when a pressure shock wave propagates along the sensor's surface, or equivalently, for side-on pressure shock wave in air. These mechanical simulations show that it is possible to reduce the sensor's reaction time by a factor about 10 from carefully adjusting the membrane dimensions.
Document type :
Conference papers
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https://hal.laas.fr/hal-02083205
Contributor : Pons Patrick <>
Submitted on : Thursday, March 28, 2019 - 6:32:20 PM
Last modification on : Wednesday, June 24, 2020 - 4:18:56 PM
Contributor : Pons Patrick <>
Submitted on : Thursday, March 28, 2019 - 6:32:20 PM
Last modification on : Wednesday, June 24, 2020 - 4:18:56 PM
Identifiers
- HAL Id : hal-02083205, version 1
- DOI : 10.1109/DTIP.2019.8752911
Collections
LAAS | ICA | UNIV-TLSE3 | INSA-TOULOUSE | CNRS | CEA | DAM | LAAS-HYPERFREQUENCES-ET-OPTIQUE | LAAS-MINC | INSA-GROUPE | UT1-CAPITOLE | UNIV-TLSE2 | INSTITUT-TELECOM
Citation
J Veyrunes, Jérôme Riondet, André Ferrand, M Lavayssière, Alexandre Lefrancois, et al.. Transient response of miniaturized piezoresistive sensors for side-on pressure shockwave. Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP), May 2019, Paris, France. ⟨10.1109/DTIP.2019.8752911⟩. ⟨hal-02083205⟩
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