Study of long lifetime DC microdischarges on silicon elaborated by MEMS fabrication techniques

Ronan Michaud (1) , Arnaud Stolz (1) , Sylvain Iséni (1) , Olivier Aubry (1) , Philippe Lefaucheux (1) , Sebastian Dzikowski (2) , Volker Schulz-von Der Gathen (2) , Leanne Pitchford (3) , Rémi Dussart (1)

1 GREMI - Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés
2 RUB - Ruhr University Bochum = Ruhr-Universität Bochum
3 LAPLACE - LAboratoire PLasma et Conversion d'Energie

Domaines: Physique des plasmas [physics.plasm-ph]; Plasmas; Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Ronan Michaud, Arnaud Stolz, Sylvain Iséni, Olivier Aubry, Philippe Lefaucheux, et al.. Study of long lifetime DC microdischarges on silicon elaborated by MEMS fabrication techniques. 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Nov 2018, Portland, United States. ⟨hal-02141706⟩