CAPTEUR DE PRESSION CAPACITIF PROTEGE CONTRE LES COURT-CIRCUITS

Mohamad Al Bahri (1) , G. Blasquez (1) , Patrick Pons (1) , Philippe Menini (1)

1 LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes

Le but de ce travail, consiste à étudier un capteur de pression capacitif protégé contre les court-circuits. Cette protection est obtenue mécaniquement en réalisant un plot au milieu du capteur qui supprime les possibilités de contact entre l'armature déformable en silicium et l'électrode métallique fixe.

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Mohamad Al Bahri, G. Blasquez, Patrick Pons, Philippe Menini. CAPTEUR DE PRESSION CAPACITIF PROTEGE CONTRE LES COURT-CIRCUITS. Revue Internationale d’Héliotechnique, 2004, 30, pp.39-41. ⟨hal-02149908⟩