 |
 |
Conference papers
Development of a New Micromachined Metal Oxide Gas Sensor: Application to Hazardous Gas Detection for Automotive Air Quality Control
Philippe Menini
1
H. Chalabi
2
E. Scheid
F. Parret
2
C Tropis
A. Martinez
Véronique Conédéra
3
Ludovic Salvagnac
3
Sandrine Assié-Souleille
4
B. Chaudret
A. Maisonnat
5
K. Soulantika
P. Fau
Khalifa Aguir
1
LAAS-MICA - Équipe MICrosystèmes d'Analyse
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
3
LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
4
LAAS-I2C - Service Instrumentation Conception Caractérisation
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
Philippe Menini 1
Author Employer institution : Équipe MICrosystèmes d'Analyse IdHAL : philippe-menini ORCID : https://orcid.org/0000-0002-7532-9148
H. Chalabi 2
Author
E. Scheid
Author
F. Parret 2
Author
C Tropis
Author
A. Martinez
Author
Véronique Conédéra 3
Author IdHAL : veronique-conedera
Ludovic Salvagnac 3
Author Employer institution : Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique IdHAL : ludovic-salvagnac
Sandrine Assié-Souleille 4
Author Employer institution : Service Instrumentation Conception Caractérisation IdHAL : sandrine-assie-souleille
B. Chaudret
Author
A. Maisonnat 5
Author
K. Soulantika
Author IdHAL : katerina-soulantika ORCID : https://orcid.org/0000-0003-3033-1620
P. Fau
Author
Khalifa Aguir
Author IdHAL : khalifa-aguir ORCID : https://orcid.org/0000-0001-8491-4843
1
LAAS-MICA - Équipe MICrosystèmes d'Analyse (France)
- LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
2
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
3
LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique (France)
- LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
4
LAAS-I2C - Service Instrumentation Conception Caractérisation (France)
- LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
5
LCC - Laboratoire de chimie de coordination (205 Route de Narbonne 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- ICT-FR 2599 - Institut de Chimie de Toulouse (118 Route de Narbonne 31062 Toulouse cédex 9 - France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- IRD - Institut de Recherche pour le Développement (Siège Le Sextant 44, bd de Dunkerque CS 90009 13572 Marseille cedex 02 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : FR2599 (France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8241 (France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
Abstract : This article deals with a new generation of semiconducting gas sensor based on a microhotplate realized on a silicon nitride membrane associated with an optimized temperature profile (T.P.) applied on heating resistor. Firstly, the technological process has been modified in order to enhance as a priority the long term stability and to allow the sensor working at higher temperature (>450°C). Secondly, a new method of data treatment is also investigated from normalized transient response of the sensor. The main goal of this new method is to identify different gas mixtures and quantify the target gas concentration. In this article, this new operating mode applied to a single Pt-doped SnO 2 gas sensor is presented to discriminate CO-concentrations in synthetic air in presence of interfering gases as NO2 and C3H8 independently of relative humidity rate. One of applications is the air quality control in automotive cabin.
Document type :
Conference papers
Complete list of metadatas
https://hal.laas.fr/hal-02161083
Contributor : Philippe Menini <>
Submitted on : Thursday, June 20, 2019 - 2:11:40 PM
Last modification on : Wednesday, November 4, 2020 - 7:08:03 PM
Contributor : Philippe Menini <>
Submitted on : Thursday, June 20, 2019 - 2:11:40 PM
Last modification on : Wednesday, November 4, 2020 - 7:08:03 PM
File
Menini-paper-sensact05.pdf
Files produced by the author(s)
Identifiers
- HAL Id : hal-02161083, version 1
Collections
LAAS | UNIV-TLSE3 | CNRS | INC-CNRS | INSA-TOULOUSE | LAAS-MICA | LAAS-MICRO-NANO-BIO-TECHNOLOGIES | INSA-GROUPE | UT1-CAPITOLE | UNIV-TLSE2 | IRD | LCC | LAAS-TEAM | LAAS-I2C
Citation
Philippe Menini, H. Chalabi, E. Scheid, F. Parret, C Tropis, et al.. Development of a New Micromachined Metal Oxide Gas Sensor: Application to Hazardous Gas Detection for Automotive Air Quality Control. SENSACT'05, Dec 2005, Noisy-le-Grand, France. ⟨hal-02161083⟩
Metrics
Record views
274
Files downloads