 |
 |
Conference papers
New Technological advances for microshielded coplanar circuits on silicon
E Saint Etienne
1
G Blasquez
1
Patrick Pons
1
Robert Plana
1
C Douziech
1
P Favaro
1
Philippe Menini
2
Norbert Fabre
3
Jacques Graffeuil
1
Thierry Parra
1
Jc Lalaurie
4
2
LAAS-MICA - Équipe MICrosystèmes d'Analyse
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
3
LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
E Saint Etienne 1
Author
G Blasquez 1
Author
Patrick Pons 1
Author IdHAL : pons-patrick ORCID : https://orcid.org/0000-0002-7989-3272
Robert Plana 1
Author
C Douziech 1
Author
P Favaro 1
Author
Philippe Menini 2
Author Employer institution : Équipe MICrosystèmes d'Analyse IdHAL : philippe-menini ORCID : https://orcid.org/0000-0002-7532-9148
Norbert Fabre 3
Author
1
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
2
LAAS-MICA - Équipe MICrosystèmes d'Analyse (France)
- LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
3
LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique (France)
- LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
4
CNES - Centre National d'Études Spatiales [Toulouse] (18 avenue Edouard Belin 31401 Toulouse - France)
Abstract : An advanced technological process for microwave coplanar circuits on silicon oxide/nitride membrane is presented. This process allows to make thick conductors with high geometric definition. Furthermore, it permits to realise microshielded circuits with minimised losses in the access ports.
Document type :
Conference papers
Complete list of metadatas
https://hal.laas.fr/hal-02170319
Contributor : Philippe Menini <>
Submitted on : Monday, July 1, 2019 - 6:22:54 PM
Last modification on : Friday, January 10, 2020 - 9:10:15 PM
Contributor : Philippe Menini <>
Submitted on : Monday, July 1, 2019 - 6:22:54 PM
Last modification on : Friday, January 10, 2020 - 9:10:15 PM
File
MME99.pdf
Files produced by the author(s)
Identifiers
- HAL Id : hal-02170319, version 1
Collections
Citation
E Saint Etienne, G Blasquez, Patrick Pons, Robert Plana, C Douziech, et al.. New Technological advances for microshielded coplanar circuits on silicon. Micro Mechanics Europe (MME1999), Sep 1999, Gif-sur-Yvette, France. pp.109-111. ⟨hal-02170319⟩
Metrics
Record views
51
Files downloads