Etats excités des plasmas pour la nitruration de surfaces métalliques et le dépôt de TiN - Université Toulouse III - Paul Sabatier - Toulouse INP Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Revue Internationale des Hautes Temperatures et des Refractaires Année : 1989

Etats excités des plasmas pour la nitruration de surfaces métalliques et le dépôt de TiN

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph] Matériaux Plasmas

Gérard Henrion  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02190663

Soumis le : lundi 22 juillet 2019-16:15:08

Dernière modification le : lundi 20 novembre 2023-11:44:19

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Dates et versions

hal-02190663 , version 1 (22-07-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02190663 , version 1

Citer

André Ricard, Gérard Henrion, Henri Michel, Gantois Michel. Etats excités des plasmas pour la nitruration de surfaces métalliques et le dépôt de TiN. Revue Internationale des Hautes Temperatures et des Refractaires, 1989, 25, pp.143-158. ⟨hal-02190663⟩

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