Wafer-scale fabrication of Liquid-Crystal micro-cells for integration in 1.55 µm tunable photonic devices

Benjamin Boisnard; Benattou Sadani; Christophe Levallois; Thierry Camps; Cyril Paranthoen; Sophie Bouchoule; Laurent Dupont; Jean-Baptiste Doucet; Véronique Bardinal

Home
Submit
Browse
Search
Theses
Do you need help ?
Numeric Republic Law
Services
- AureHAL
- SpirHAL
- HALTools
- OCdHAL
- OverHAL
- X2HAL

Wafer-scale fabrication of Liquid-Crystal micro-cells for integration in 1.55 µm tunable photonic devices

Benjamin Boisnard ¹ Benattou Sadani ¹ Christophe Levallois ² Thierry Camps ¹ Cyril Paranthoen ² Sophie Bouchoule ³ Laurent Dupont ⁴ Jean-Baptiste Doucet ⁵ Véronique Bardinal ¹

1 LAAS-MICA - Équipe MICrosystèmes d'Analyse

LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes

2 Institut FOTON - Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON

3 C2N (UMR_9001) - Centre de Nanosciences et Nanotechnologies

4 IMT Atlantique - OPT - Département Optique

5 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique

LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes

Benjamin Boisnard ¹ AuthorId : 1629854
Author

Benattou Sadani ¹ AuthorId : 1629853

Author

Christophe Levallois ² AuthorId : 492492

Author IdHAL : christophe-levallois IdRef : https://www.idref.fr/120180545

Thierry Camps ¹ AuthorId : 11259276
Author

Cyril Paranthoen ² AuthorId : 579727

Author IdHAL : cyril-paranthoen

Sophie Bouchoule ³ AuthorId : 187937
Author

Laurent Dupont ⁴ AuthorId : 11318167

Author IdHAL : laurent-dupont29

Jean-Baptiste Doucet ⁵ AuthorId : 495282

Author Employer institution : Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique

Véronique Bardinal ¹ AuthorId : 181494

Author Employer institution : Équipe MICrosystèmes d'Analyse IdHAL : veronique-bardinal

1 LAAS-MICA - Équipe MICrosystèmes d'Analyse (France) StructId : 392533

LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France) StructId : 459
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France) StructId : 448187
  - Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France) StructId : 443875
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France) StructId : 116255
  - INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France) StructId : 301232
- UPS - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France) StructId : 217752
  - Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France) StructId : 443875
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France) StructId : 441569
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France) StructId : 81148
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France) StructId : 116256

2 Institut FOTON - Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON (ENSSAT 6, rue de Kerampont CS 80518 22305 LANNION Cedex - France) StructId : 491814

UR1 - Université de Rennes 1 (2 rue du Thabor - CS 46510 - 35065 Rennes cedex - France) StructId : 105160
- UNIV-RENNES - Université de Rennes (France) StructId : 528860
INSA Rennes - Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (20, avenue des Buttes de Coësmes - CS 70839 - 35708 Rennes cedex 7 - France) StructId : 117606
- INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France) StructId : 301232
- UNIV-RENNES - Université de Rennes (France) StructId : 528860
ENSSAT - École Nationale Supérieure des Sciences Appliquées et de Technologie (6 rue de Kerampont - BP 80518 - 22305 Lannion Cedex - France) StructId : 300376
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6082 (France) StructId : 441569
UBL - Université Bretagne Loire (Cité Internationale, 1 place Paul Ricoeur - CS 54417 35044 RENNES CEDEX - France) StructId : 469973
IMT Atlantique - IMT Atlantique Bretagne-Pays de la Loire (Campus Brest : Technopôle Brest-Iroise CS 8381829238 BREST Cedex 3 - Campus Nantes : 4, rue Alfred Kastler- La chantrerie 44300 NANTES - Campus Rennes : 2 Rue de la Châtaigneraie, 35510 CESSON SEVIGNE - France) StructId : 481355

3 C2N (UMR_9001) - Centre de Nanosciences et Nanotechnologies (10 Boulevard Thomas Gobert, 91120 Palaiseau - France) StructId : 563983

CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR_9001 (France) StructId : 441569
UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 : UMR_9001 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France) StructId : 92966
Université Paris-Saclay : UMR_9001 (Espace Technologique, Bat. Discovery - RD 128 - 2e ét., 91190 Saint-Aubin - France) StructId : 419361

4 IMT Atlantique - OPT - Département Optique (IMT Atlantique - Campus de Brest :-Technopôle Brest-Iroise CS 8381829238 BREST Cedex 3 - France) StructId : 490130

IMT Atlantique - IMT Atlantique Bretagne-Pays de la Loire (Campus Brest : Technopôle Brest-Iroise CS 8381829238 BREST Cedex 3 - Campus Nantes : 4, rue Alfred Kastler- La chantrerie 44300 NANTES - Campus Rennes : 2 Rue de la Châtaigneraie, 35510 CESSON SEVIGNE - France) StructId : 481355

5 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique (France) StructId : 389044

LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France) StructId : 459
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France) StructId : 448187
  - Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France) StructId : 443875
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France) StructId : 116255
  - INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France) StructId : 301232
- UPS - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France) StructId : 217752
  - Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France) StructId : 443875
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France) StructId : 441569
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France) StructId : 81148
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France) StructId : 116256

Document type :

Poster communications

Domain :

Engineering Sciences [physics] / Optics / Photonic

Physics [physics] / Physics [physics] / Optics [physics.optics]

Physics [physics] / Condensed Matter [cond-mat] / Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]

Complete list of metadatas

https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02290652
Contributor : Christophe Levallois <>
Submitted on : Tuesday, September 17, 2019 - 6:36:30 PM
Last modification on : Friday, December 13, 2019 - 10:52:01 AM

Identifiers

HAL Id : hal-02290652, version 1

Collections

Citation

Benjamin Boisnard, Benattou Sadani, Christophe Levallois, Thierry Camps, Cyril Paranthoen, et al.. Wafer-scale fabrication of Liquid-Crystal micro-cells for integration in 1.55 µm tunable photonic devices. 11th European Workshop on VCSELs (VCSEL Day 2018), Apr 2018, Ulm, Germany. ⟨hal-02290652⟩

Wafer-scale fabrication of Liquid-Crystal micro-cells for integration in 1.55 µm tunable photonic devices

Identifiers

Collections

Citation

Export

Metrics

35

CONTACT

Wafer-scale fabrication of Liquid-Crystal micro-cells for integration in 1.55 µm tunable photonic devices

Identifiers

Collections

Citation

Export

Share

Metrics

35

CONTACT