Benjamin Boisnard 1
Author
Benattou Sadani 1
Author
Christophe Levallois 2
Author IdHAL : christophe-levallois IdRef : https://www.idref.fr/120180545
Thierry Camps 1
Author
Cyril Paranthoen 2
Author IdHAL : cyril-paranthoen
Sophie Bouchoule 3
Author
Laurent Dupont 4
Author IdHAL : laurent-dupont29 ORCID : https://orcid.org/0000-0003-1355-7871
Jean-Baptiste Doucet 5
Author Employer institution : Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
Véronique Bardinal 1
Author Employer institution : Équipe MICrosystèmes d'Analyse IdHAL : veronique-bardinal ORCID : https://orcid.org/0000-0001-9242-4457
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