Développement de procédés de lithographie UV de résines photosensibles sur l'équipement Suss Microtec MA6 Gen 4 - Université Toulouse III - Paul Sabatier - Toulouse INP Accéder directement au contenu
Rapport (Rapport Technique) Année : 2018

Développement de procédés de lithographie UV de résines photosensibles sur l'équipement Suss Microtec MA6 Gen 4

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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2020-07-20 Développement de procédés de lithographie UV de résines photosensibles sur l'équipement Suss Microtec MA6 Gen 4.pdf (558.83 Ko) Télécharger le fichier
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https://hal.science/hal-02902736

Soumis le : mardi 21 juillet 2020-15:23:24

Dernière modification le : lundi 20 novembre 2023-11:44:22

Archivage à long terme le : mardi 1 décembre 2020-01:23:55

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Dates et versions

hal-02902736 , version 1 (21-07-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02902736 , version 1

Citer

Julien Joneau, Adrian Laborde, Laurent Mazenq. Développement de procédés de lithographie UV de résines photosensibles sur l'équipement Suss Microtec MA6 Gen 4. [Rapport Technique] Rapport LAAS n° 18698, LAAS-CNRS. 2018. ⟨hal-02902736⟩

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