Fabrication an simulation of a PZT energy scavenging MEMS

Gustavo Aldolfo Ardila Rodriguez (1) , Hugo Durou (1) , Lamine Ourak (1) , David Colin (2) , Carole Rossi (3) , Baud Corinne (1) , Jean-Yves Fourniols (1)

1 LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
2 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
3 LAAS-NEO - Équipe Nano-ingénierie et intégration des oxydes métalliques et de leurs interfaces

Domaines: Matériaux; Sciences de l'ingénieur [physics]

Gustavo Aldolfo Ardila Rodriguez, Hugo Durou, Lamine Ourak, David Colin, Carole Rossi, et al.. Fabrication an simulation of a PZT energy scavenging MEMS. 8th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2008), Nov 2008, Sendai, Japan. ⟨hal-03167923⟩