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hal-01857636v1  Conference papers
Ludovic Marigo-Lombart, Laurent Mazenq, Ludovic Salvagnac, Guillaume Libaude, Bernard Rousset et al.  VCSELs fabricated using self-aligned processing
42nd Micro and Nano Engineering (MNE), Sep 2016, Vienna, Austria
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hal-01867591v1  Conference papers
Éric Imbernon, Jean Louis Sanchez, Patrick Austin, Marie Breil, O Causse et al.  FLEXIBLE TECHNOLOGICAL PROCESS FOR FUNCTIONAL INTEGRATION
International Semiconductor Conference (CAS'2001), Oct 2001, Sinaia, Romania. pp.465-468
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hal-01867595v1  Conference papers
Éric Imbernon, Emmanuel Scheid, Françoise Rossel, Marie Breil, H Carrière et al.  RÉALISATION DE MURS P + TRAVERSANTS POUR DES FONCTIONS DE PUISSANCE INTÉGRÉES
Seminario Annual de Automatica, Electronica Industrial e Instrumentacion. Electronique de Puissance du Futur (SAAEI-EPF'04), Sep 2004, Toulouse, France. 4p
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hal-01485548v1  Other reports
Hugues Granier, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, Franck Carcenac, Pierre-François Calmon et al.  Bilan des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS
Rapport LAAS n° 17056. 2017
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hal-01767583v1  Other reports
Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon et al.  Un bilan des activités 2017 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS
Rapport LAAS n° 18107. 2018
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hal-01867464v1  Other reports
Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre et al.  Bilan 2014 des zones de la plateforme de micro et nanotechnologies
Rapport LAAS n°15168. 2015, 105p
hal-01629118v1  Journal articles
Petru Notingher, Ludovic Boyer, Olivier Fruchier, Serge Agnel, Alain Toureille et al.  Analysis of Data Obtained Using the Thermal-Step Method on a MOS Structure—An Electrostatic Approach
IEEE Transactions on Industry Applications, Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2010, 46 (3), pp.1144 - 1150. ⟨10.1109/TIA.2010.2045211⟩
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hal-01867458v1  Other reports
Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon et al.  Protocole d'arrêt général de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS
Rapport LAAS n° 14267. 2014
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hal-00385958v1  Conference papers
Isabelle Bertrand, Vasanta Pathirana, Éric Imbernon, Florin Udrea, Marise Bafleur et al.  New lateral DMOS and IGBT structures realized on a partial SOI substrate based on LEGO process
Bipolar/BiCMOS Circuits and Technology Meeting (BCTM2005), Oct 2005, Santa Barbara, United States. pp.74-77
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hal-01511365v2  Journal articles
Pierre Temple-Boyer, Bernard Rousset, Emmanuel Scheid. Influences of deposition and crystallization kinetics on the properties of silicon films deposited by low-pressure chemical vapour deposition from silane and disilane
Thin Solid Films, Elsevier, 2010, 518 (23), pp.6897-6903. ⟨10.1016/j.tsf.2010.07.037⟩
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hal-01867462v1  Other reports
Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre et al.  Bilan 2015 des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS
Rapport LAAS n° 16053. 2016
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hal-01867468v1  Other reports
Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre et al.  Plate forme de micro et nanotechnologies Bilan 2013 des zones
Rapport LAAS n° 14772. 2014, 108p
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hal-01504952v1  Journal articles
Bessem Kaghouche, Farida Mansour, Christine Molliet, Bernard Rousset, Pierre Temple-Boyer. Investigation on optical and physico-chemical properties of LPCVD SiOxNy thin films
European Physical Journal: Applied Physics, EDP Sciences, 2014, 66 (2), pp.20301. ⟨10.1051/epjap.2014130550⟩

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