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	hal-01623154v1 Journal articles Aaron Dangerfield, Charith E. Nanayakkara, Anupama Mallikarjunan, Xinjian Lei, Ronald Pearlstein et al. Role of Trimethylaluminum in Low Temperature Atomic Layer Deposition of Silicon Nitride Chemistry of Materials, American Chemical Society, 2017, 29 (14), pp.6022-6029. ⟨10.1021/acs.chemmater.7b01816⟩
	hal-01452182v1 Journal articles Lorena Marín, Charith E. Nanayakkara, Jean-Francois Veyan, Bénédicte Warot-Fonrose, Sébastien Joulié et al. Enhancing the Reactivity of Al/CuO Nanolaminates by Cu Incorporation at the Interfaces ACS Applied Materials & Interfaces, Washington, D.C. : American Chemical Society, 2015, vol. 7 (n° 22), pp. 11713-11718. ⟨10.1021/acsami.5b02653⟩
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