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	hal-01443083v1  Journal articles Magali Brunet, Hicham Mafhoz Kotb, Laurent Bouscayrol, Emmanuel Scheid, Michel Andrieux et al.  Nanocrystallized tetragonal metastable ZrO2 thin films deposited by metal-organic chemical vapor deposition for 3D capacitors Thin Solid Films, Elsevier, 2011, 519 (16), pp.5638-5644. ⟨10.1016/j.tsf.2011.03.006⟩
	hal-00772551v1  Conference papers Youness Laaroussi, Olivier Gauthier-Lafaye, Laurent Bouscayrol, Chantal Fontaine, Laurent Cerutti et al.  AlOx/GaAs high contrast grating mirrors for mid infrared VCSELs ICTON 2012, Jul 2012, Coventry, United Kingdom. pp.1-3, ⟨10.1109/ICTON.2012.6254396⟩
	hal-00242495v1  Conference papers Stéphan Hernandez, Olivier Gauthier-Lafaye, Laurent Bouscayrol, Laurent Jalabert, Philippe Arguel et al.  Réalisation de filtres à réseaux résonnants ultra-sélectifs en longueur d'onde G.D.R. Ondes, GT2, 29 mai 2007, Chatenay-Malabry, France, 2007, Chatenay-Malabry, France
	hal-02137930v1  Other reports Hugues Granier, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, Véronique Conédéra, Monique Dilhan et al.  Bilan 2018 des activités de la centrale de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS et du service TEAM Rapport LAAS n° 19151. 2019
	hal-01485548v1  Other reports Hugues Granier, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, Franck Carcenac, Pierre-François Calmon et al.  Bilan des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS Rapport LAAS n° 17056. 2017
	hal-01767583v1  Other reports Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon et al.  Un bilan des activités 2017 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS Rapport LAAS n° 18107. 2018
	hal-01867464v1  Other reports Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre et al.  Bilan 2014 des zones de la plateforme de micro et nanotechnologies Rapport LAAS n°15168. 2015, 105p
	hal-01867458v1  Other reports Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon et al.  Protocole d'arrêt général de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS Rapport LAAS n° 14267. 2014
	hal-01867462v1  Other reports Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre et al.  Bilan 2015 des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS Rapport LAAS n° 16053. 2016
	hal-01867468v1  Other reports Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre et al.  Plate forme de micro et nanotechnologies Bilan 2013 des zones Rapport LAAS n° 14772. 2014, 108p
	hal-01508078v1  Journal articles Emilie Vanhove, Aliki Tsopela, Laurent Bouscayrol, Adrien Desmoulin, Jérôme Launay et al.  Final capping passivation layers for long-life microsensors in real fluids Sensors and Actuators B: Chemical, Elsevier, 2013, 178, pp.350-358. ⟨10.1016/j.snb.2012.12.088⟩
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