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	hal-02045991v1 Journal articles E. Saint-Etienne, Patrick Pons, G. Blasquez, Pierre Temple-Boyer, Véronique Conédéra et al. A dedicated micromachining technology for high-aspect-ratio millimetre-wave circuits Sensors and Actuators A: Physical , Elsevier, 1998, 68 (1-3), pp.435-441. ⟨10.1016/S0924-4247(98)00073-9⟩
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