Université Toulouse III - Paul Sabatier

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	hal-02045987v1 Journal articles Philippe Menini, Ph. Dondon, G. Blasquez, Patrick Pons, P. Favaro et al. Characterisation and modelling analysis of a capacitive pressure sensor based on a silicon/Pyrex sensing cell and a BiCMOS A/D integrated circuit Sensors and Actuators A: Physical , Elsevier, 2000, 85 (1-3), pp.90-98. ⟨10.1016/S0924-4247(00)00340-X⟩
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