Contribution à la conception et la réalisation de microsystèmes électrostatiques
Résumé
Electrostatic Microsystems have been developed in the 80's and they are a milestone for the technological development. The manuscript will present works done with atomic scale modelling of bulk micromachining in silicon and with technological development of a three layer polysilicon surface micromachining. This last point will be illustrated by realisation of an electrostatic side drive micromotor. Other examples of MEMS dedicated to optical applications will be presented either for telecommunication or military applications. The future of works dealing with introduction of polymers in silicon technologies will be also presented.
Les microsystèmes électrostatiques se sont développés depuis une vingtaine d'année et ont constitué un événement marquant du développement technologique. La présentation abordera les travaux effectués en termes de modélisation du micro usinage de volume et en termes de développement technologique relatif au micro usinage de surface. Elle s'appuiera également sur des exemples de microsystèmes opto électro mécaniques à vocation applicatives tant dans le domaine des télécommunications que des applications militaires. Les prospectives de recherches aborderont les nouveaux développements relatifs à l'introduction des matériaux polymères dans les technologies silicium tout en restant dans le cadre des applications à l'optique.
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