Réalisation d'interconnexions de faible résistivité à base de nanotubes de carbone biparois pour la nano-électronique
Résumé
Since their discovery in 1991 by S.Iijima, carbon nanotubes have been study for their mechanicals and electrical properties. This is especially on that last topic they are the most investigated. They are providing better electrical conduction than copper for micro and nano electronic. The topic of this study is to provide a way to use them as electrical conductors. In order to integrate them on complex electronic system, we must insure that the ways we plan to use are compatible with the possible presence of electronic components on the substrate. To do that, we will use localise growth of carbon nanotubes, at temperature as low as possible; anyway, another process consisting on a post synthesis manipulation will also be investigated.
Depuis leur découverte en 1991 par S.Iijima, les nanotubes de carbone sont étudiés pour leurs différentes propriétés mécaniques et électroniques. C'est précisément dans le domaine de l'électronique qu'ils sont particulièrement investigués. En effet, ils offrent des propriétés de conduction électrique supérieure au cuivre pour la micro et la nanoélectronique. C'est dans le but de les utiliser en tant que tels que nous avons réalisé cette étude laquelle consiste à utiliser les nanotubes de carbone comme conducteurs électriques. En vue de leur intégration dans des systèmes électroniques complexes, nous devrons nous assurer que les voies envisagées sont compatibles avec les composants qui peuvent être présents sur le substrat. Pour ce faire, nous tenterons de réaliser une croissance localisée de nanotubes de carbone, à la température la plus basse possible ; toutefois un autre moyen de procéder consisterait en la manipulation post-synthèse des nanotubes de carbone. Ce sont là les deux voies envisagées que nous expérimenterons au cours cette étude.
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