Joris Lacroix 1
Author
Marie-Charline Blatché 3
Author Employer institution : Centre National de la Recherche Scientifique
Emmanuelle Daran 4
Author Employer institution : Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
Jean-Marc Victor 2
Author
Aurélien Bancaud 5
Author IdHAL : aurelien-bancaud ORCID : https://orcid.org/0000-0002-0308-249X
CNRS | LAAS | LPTMC | UPMC | LAAS-N2IS | LAAS-I2C | LAAS-TEAM | LAAS-NANO-INGENIERIE-ET-INTEGRATION | INSA-TOULOUSE | INSA-GROUPE | SORBONNE-UNIVERSITE | UNIV-TLSE3 | SU-SCIENCES | UT1-CAPITOLE | UNIV-TLSE2