Article Dans Une Revue
Journal de Physique IV Proceedings
Année : 1998
Philippe FALQUE : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.umontpellier.fr/hal-01737477
Soumis le : lundi 19 mars 2018-15:04:08
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:13:14
Citer
Patrice Raynaud, C. Marliere, D. Berthomieux, Y. Segui, J. Durand, et al.. Infrared absorption analysis of organosilicon/oxygen plasmas in a microwave multipolar plasma excited by distributed electron cyclotron resonance. Journal de Physique IV Proceedings, 1998, 08 (PR7), pp.Pr7-265 - Pr7-272. ⟨10.1051/jp4:1998722⟩. ⟨hal-01737477⟩
Collections
53
Consultations
0
Téléchargements